石英導(dǎo)光柱清洗石英管的方法有：石英玻璃在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備上，使用溫度經(jīng)常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態(tài)，在此種狀態(tài)下由于附著不純物導(dǎo)致失透現(xiàn)象發(fā)生，失透之部分為石英之晶質(zhì)化，晶質(zhì)化之變態(tài)點(diǎn)為 275 ℃，當(dāng)石英玻璃自高溫降至此變態(tài)溫度時(shí)，表面失透之晶質(zhì)化部分與石英玻璃本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀更嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。
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