石英導光柱清洗石英管的方法有:石英玻璃在半導體工業(yè)設備上,使用溫度經常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態(tài),在此種狀態(tài)下由于附著不純物導致失透現(xiàn)象發(fā)生,失透之部分為石英之晶質化,晶質化之變態(tài)點為 275 ℃,當石英玻璃自高溫降至此變態(tài)溫度時,表面失透之晶質化部分與石英玻璃本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產生不透明之剝離狀更嚴重時會造成破裂現(xiàn)象產生。
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